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SMC流量传感器 微小工件的吸附确认 ●重复精度: ± 2% F.S.以下 ●响应速度: 5 ms 以下、耐压: 500 kPa ●无润滑脂、对应RoHS ●一个电压监控器即可对应全部量程 ●相关元件:真空过滤器ZFC050系列 字段描述字段取值取值描述 输出规格0NPN2输出+1-5V输出 单位规格MSI单位固定 可选项1-无 可选项2-无 可选项3-无 使用说明书-